高純級(jí)(EL級(jí))過氧化氫:該產(chǎn)品金屬雜質(zhì)含量小于100ppb,控制1微米粒徑粒子,達(dá)到SEMIC1、C2標(biāo)準(zhǔn),適合中小規(guī)模集成電路及電子元件加工工藝。
產(chǎn)品包裝規(guī)格:30公斤/桶,200公斤/桶,1000公斤/桶,以及30噸槽車。
產(chǎn)品介紹:電子級(jí)過氧化氫(UP級(jí))使用0.8微米以上集成電路及TFT-LCD制造工藝,金屬雜質(zhì)含量小于10PPb,產(chǎn)品經(jīng)過0.2微米孔徑過濾,控制0.5微米粒子,在100級(jí)凈化環(huán)境中灌裝達(dá)到SEMIC7標(biāo)準(zhǔn),產(chǎn)品主要用作半導(dǎo)體硅晶片清洗劑,蝕刻劑和光刻膠去除劑,還可用于要求較高的緣層制取,電鍍液無機(jī)雜質(zhì)去除,電子行業(yè)中銅、銅合金和鎵、鍺的處理,以及太陽能硅晶片的燭刻和清洗。在處理過程中,試劑中的雜質(zhì)會(huì)對(duì)元器件性能產(chǎn)生致命影響,因此,超凈高純過氧化氫對(duì)純度的要求非??量?。